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真空镀膜机怎样公转和自转的真空镀膜机怎样公转和自转的真空镀膜机怎样公转和自转的

公自转转架装置及真空镀膜机pdf 13页 VIP 原创力文档

2023年7月27日本实用新型公开了一种公自转转架装置及真空镀膜机，涉及真空处理技术领域。该公自转转架装置包括自转轴、公转轴、公转盘和自转子轴，自转轴穿设于公转轴内且能相对 2019年8月27日本发明涉及镀膜设备领域，更具体地说，尤其涉及一种用于真空镀膜的公自转式镀膜设备。背景技术：传统的镀膜机转架都是简单的公转，只要启动转架的传动装置，转架在镀膜机内部就会不停的旋转，无法进行自转反面镀用于真空镀膜的公自转式镀膜设备的制作方法 X技 2023年7月25日摘要：本实用新型公开了一种公自转转架装置及真空镀膜机，涉及真空处理技术领域。该公自转转架装置包括自转轴、公转轴、公转盘和自转子轴，自转轴穿设于公转轴内公自转转架装置及真空镀膜机pdf专利下载原创力专利 book年1月11日本实用新型提供了一种上置式公自转真空镀膜机，有效解决下置式结构在工件转动镀膜过程中因摇晃导致镀膜效果差的问题，技术方案包括镀膜主腔、上置式镀膜旋转机构一种上置式公自转真空镀膜机豆丁网2023年3月3日本实用新型提供一种真空镀膜的自转式工架机构，包括：自转工件架、从动齿圈、公转盘、行星轮一、行星轮二以及太阳轮，所述从动齿轮盘上表面设有公转盘，所述从动齿轮一种真空镀膜的自转式工架机构pdf 7页 VIP 原创力文档2023年7月27日 1、在真空镀膜、刻蚀等真空处理技术领域，往往通过公自转形式来提高真空处理的均匀性。在公自转真空处理系统中，通常将基板或晶片等待处理工件装载在设置于真空处理室的公自转工件架上来进行真空处理。2、现有公自转转架装置及真空镀膜机的制作方法

公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构

2016年2月23日本发明公开了一种公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构，本发明设置两个驱动机构，并通过设计工件转架三重运动机构之间的联动关系，使本发明工件转 2012年4月11日本发明专利技术提供一种用于真空镀膜的水平方向公自转机构，包括公转传动组件和自转传动组件；公转传动组件包括一端通过齿轮与真空镀膜机动力源连接的主轴，主轴另用于真空镀膜的水平方向公自转机构制造技术，地球自转方向 2022年5月13日本实用新型公开了一种真空镀膜机可公自转工件转架机构,涉及真空镀膜机结构技术领域,为解决现有的真空镀膜机工件转架机构不能够实现在进行公转的同时又实现自转,这样一种真空镀膜机可公自转工件转架机构豆丁网2020年12月16日真空镀膜机是目前制作真空条件应用最为广泛的真空设备，一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成，排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。真空镀膜机原理和各部件分析知乎2022年5月13日一种真空镀膜机可公自转工件转架机构 (57)摘要本实用新型公开了一种真空镀膜机可公自转工件转架机构,涉及真空镀膜机结构技术领域,为解决现有的真空镀膜机工件转架机一种真空镀膜机可公自转工件转架机构豆丁网真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜机百度百科

一种用于镀膜机公转自转可独立调节自转速度的工件

2022年8月20日 1本实用新型涉及镀膜领域，具体为一种用于镀膜机公转自转可独立调节自转速度的工件架。背景技术： 2真空镀膜机有的工件在镀膜过程为了实现镀膜均匀性，需要工件作公自转，工件的自转是通过公转的工件架带动的， 2016年9月14日真空镀膜机内都置有用于装夹被镀工件的工件转架运动机构。以立式真空离子镀膜机为例，常用的工件转架运动机构的运动方式通常可分为两重运动或三重运动，自转盘随公公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构的 2022年10月31日一种立式真空镀膜机通过磁力驱动自转机构的工件转架 (57)摘要本实用新型公开了一种立式真空镀膜机通过磁力驱动自转机构的工件转架，包括公转盘和自转轴，所述自一种立式真空镀膜机通过磁力驱动自转机构的工件转架豆丁网2023年7月25日本实用新型公开了一种公自转转架装置及真空镀膜机，涉及真空处理技术领域。该公自转转架装置包括自转轴、公转轴、公转盘和自转子轴，自转轴穿设于公转轴内且能相对公自转转架装置及真空镀膜机pdf专利下载原创力专利 book年1月31日 1本实用新型涉及磁控溅射真空镀膜技术领域，特别涉及公自转机构及真空镀膜机。背景技术： 2以磁控溅射为技术基础的单体镀膜机，在光学和光电领域的镀膜都只有工转公自转机构及真空镀膜机的制作方法2020年11月20日真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，包括真空离子蒸发镀膜机、磁控溅镀膜机射、MBE分子束外延镀膜机和PLD激光溅射沉积镀膜机等很多种。主要是分不同的真空镀膜机适用范围及分类真空镀膜康沃真空网

真空镀膜和电镀的区别详解：技术原理、工艺流程与实际应用解析

真空镀膜工艺流程：技术概述、参数控制与质量影响真空镀膜机本司拥有电子束及阻蒸蒸发加工设备，能对Ti、Cr、Al、Ni、Ag、Au、Pt、Cu等金属进行薄膜制备，最大可制备12 本司拥有多台多样式磁控溅射台，可实现自转镀膜、自公转真空镀膜系统河南微纳半导体有限责任公司2022年5月17日 1本实用新型涉及真空镀膜机结构技术领域，具体为一种真空镀膜机可公自转工件转架机构。背景技术： 2真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括一种真空镀膜机可公自转工件转架机构的制作方法2015年3月11日本实用新型涉及一种大型镀膜机腔内蒸发镀膜的镀膜治具，尤指一种应用在大型镀膜机腔中实现产品均匀镀膜效果的一种可自转公转的仿行星式镀膜治具，一种可自转公转的一种可自转公转的仿行星式镀膜治具的制作方法 X技术网2023年7月4日除了公转和自转的设定比例外，还需要关注夹层框架内的真空度。在正常运转时，离心真空脱泡搅拌机需要保持一定的真空度来保证物料在脱泡的同时不受到氧化或污染等自转与公转离心真空脱泡搅拌机比例需了解

真空镀膜基础知识（薄膜与制备）知乎

2021年3月14日真空蒸发，溅射镀膜和离子镀等通常称为物理气相沉积法，是基本的薄膜制备技术。它们都要求淀积薄膜的空间要有一定的真空度。所以，真空技术是薄膜制作技术的基础， 2016年9月18日本实用新型公开了一种公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构，本实用新型设置两个驱动机构，并通过设计工件转架三重运动机构之间的联动关系，使本实公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构制造 2004年9月6日现以真空蒸镀、真空溅射为例，介绍真空镀膜的基本原理和工艺过程。其它镀膜方法，如离子蒸镀、气相沉积等，可参阅有关著作。原理 1．真空蒸发镀膜蒸发镀膜，要求从真空镀膜 SJTU2024年8月21日但是，由于真空镀膜机中行星系统公转、自转的灵活调节，放置在真空镀膜机行星夹具上的平面光学元件具有很好的位置随机性，导致修正挡板平面行星系统修正挡板校正膜厚均匀性 ResearchGate2015年1月21日本发明涉及一种大型镀膜机腔内蒸发镀膜的镀膜治具，尤指一种应用在大型镀膜机腔中实现产品均匀镀膜效果的，一种可自转公转的仿行星式镀膜治具，所述的镀膜治具安装一种可自转公转的仿行星式镀膜治具及其使用方法 X技术网2024年3月13日一种真空镀膜用旋转基片架装置及真空镀膜系统pdf,本实用新型属于磁控溅射领域，具体是涉及到一种真空镀膜用旋转基片架装置及真空镀膜系统，包括真空腔、基片周转架一种真空镀膜用旋转基片架装置及真空镀膜系统pdf 原创力文档

第八章真空镀膜机的设计百度文库

第八章真空镀膜机的设计84工件架 84工件架 1 1 功能作用与要求多装料装卡要求利于膜厚分布满足对基片的要求（加偏压、加热冷却）84工件架 84工件架 2 结构形式与真 2017年2月27日 1一种带行星盘的镀膜机膜片转动结构，包括传动机构、定轴、绕定轴转动的转筒、罩体以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘，所述传动机构主要包括一个驱动齿轮，所述带行星盘的镀膜机膜片转动结构pdf2022年1月10日真空镀膜机主要给日常产品和工件表面，采用物理气相沉积方式镀上一层薄薄的膜层，为其改变其性能和外观。真空镀膜技术已经广泛应用于行业各个领域，应用不同的领域，采用不同的镀膜技术，使用的真空镀膜机各有不真空镀膜机零部件介绍及分类介绍2023年4月22日本实用新型涉及真空镀膜机领域，尤其涉及一种真空镀膜机的工件旋转机构。背景技术真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真一种真空镀膜机的工件旋转机构的制作方法2022年7月16日 1本实用新型涉及镀膜机技术领域，具体为一种上置式公自转真空镀膜机。背景技术： 2在真空镀膜机内部都有用于装夹工件的转动工装机构。以立式真空离子镀膜机和溅一种上置式公自转真空镀膜机的制作方法真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提真空镀膜（一种机械工程）百度百科

真空镀膜机完整组成结构

2020年7月1日生活中，真空镀膜机应用很广泛，真空镀膜设备种类及型号繁多，但无论何种真空镀膜设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统，以便在真空容器内获得所需要的真空条件 2021年8月12日 2003年率先在国内制备出IRCUT滤光片，领先其它厂家两年。SDEI1500镀膜机是国内真空室最大的制备IRCUT滤光片的光学镀膜机。坩埚盘尺寸和装药量国内最大。装备一文细数CIOE展会现场的镀膜设备真空广东振华科技股份有限公司始创于1992年，是一家专门为客户提供优质真空镀膜解决方案的企业，公司独立研发、生产、销售真空镀膜设备，提供镀膜工艺及技术支持。广东振华科技可提供真空镀膜机真空镀膜设备PVD镀膜设备厂家振华真空2022年11月9日加工定制是货号品牌莱宝型号aps1104 适用范围光学玻璃产品别名电镀机电镀电源双脉冲电源电镀位置真空镀膜镀种镀银系列是否跨境出口专供货源否商品描述二手德国莱宝镀膜机 aps1104 光学真空镀膜机知乎2022年5月13日一种真空镀膜机可公自转工件转架机构 (57)摘要本实用新型公开了一种真空镀膜机可公自转工件转架机构,涉及真空镀膜机结构技术领域,为解决现有的真空镀膜机工件转架机一种真空镀膜机可公自转工件转架机构豆丁网真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜机百度百科